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专业生产KT(凸腔)系列,KTA(凸腔矮泵)系列,KTD(凸腔低返油)系列高真空油扩散泵、高真空油扩散泵机组、DH系列多弧离子镀膜机、磁控溅射镀膜机、SDB系列水冷挡板和FDB系列低温冷阱、GDQ系列高真空气动挡板阀、DDCY系列电磁压差阀、QCF系列气动充气阀以及形状各异的高真空容器。
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高真空镀膜机
技术参数
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型号 |
TX-1000 |
TX-1200 |
TX-1300 |
TX-1600 |
TX-2100 |
TX-2300 |
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真空室尺寸 |
Ф1000 |
Ф1200 |
Ф1300 |
Ф1600 |
Ф2100 |
Ф2300 |
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电源类型 |
脉冲偏压电源；弧电源（可根据客户要求加配不同电源） |
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真空室结构 |
立式前开门结构、后置抽气系统 |
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真空室材质 |
SUS-304优质不锈钢材质腔体 |
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极限真空 |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
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抽气速率 |
从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(室温空载洁净） |
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真空获得系统 |
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） |
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多弧靶数量 |
4 |
8 |
8 |
16 |
36 |
45 |
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转架转动系统 |
行星式公自转、变频调速（可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） |
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工艺气体 |
质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 |
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冷却系统 |
水循环冷却系统。另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） |
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控制方式 |
手动或PLC+触摸屏操作 |
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报警及保护 |
水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
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设备占地面积 |
W3m×L3.5m |
W3.5m×L5m |
W3.5m×L5m |
W4.5m×L5.5m |
W4.5m×L11m |
W5m×L12m |
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其他技术参数 |
水压≥0.2MPa，水温≤25℃，气压0.5-0.8MPa |
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备注 |
具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm，高度500-7000mm。 |
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产品特点
1.适用行业
(1)钟表行业。例如：表带、表壳、表盘等；
(2)玻璃陶瓷行业（玻璃餐具、陶瓷工艺品）；
(3)五金行业（卫生洁具、门把手、拉手、门锁等）；
(4)建筑行业（不锈钢板、楼梯扶手、立柱等）；
(5)精密模具业（冲棒标准件模具、成型模具等）；
(6)工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头）；
(7)汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）以及钢笔、眼镜等等的。
2.过程温度控制可调
3.程序控制镀膜工艺,确保控制精度和可靠性和可重复性
4.符合安全技术和要求
5.结构合理，周期短，效率高，操作简便，能耗低，稳定性能好。
6.可加工的材料包括：金，银，铬，钛，钛铝，锆，镍，不锈钢及高纯墨靶，硅，三氧化硅，氧化铝，氮化物，硼化物等非金属陶瓷靶
7.涂层颜色：金，银，蓝，绿，紫，粉红，黑色等