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专业生产KT(凸腔)系列,KTA(凸腔矮泵)系列,KTD(凸腔低返油)系列高真空油扩散泵、高真空油扩散泵机组、DH系列多弧离子镀膜机、磁控溅射镀膜机、SDB系列水冷挡板和FDB系列低温冷阱、GDQ系列高真空气动挡板阀、DDCY系列电磁压差阀、QCF系列气动充气阀以及形状各异的高真空容器。
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高真空镀膜机
技术参数
型号 |
TX-1000 |
TX-1200 |
TX-1300 |
TX-1600 |
TX-2100 |
TX-2300 |
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真空室尺寸 |
Ф1000 |
Ф1200 |
Ф1300 |
Ф1600 |
Ф2100 |
Ф2300 |
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电源类型 |
脉冲偏压电源;弧电源(可根据客户要求加配不同电源) |
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真空室结构 |
立式前开门结构、后置抽气系统 |
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真空室材质 |
SUS-304优质不锈钢材质腔体 |
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极限真空 |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
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抽气速率 |
从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(室温空载洁净) |
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真空获得系统 |
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置) |
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多弧靶数量 |
4 |
8 |
8 |
16 |
36 |
45 |
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转架转动系统 |
行星式公自转、变频调速(可设定上下转架,轴数可由实际情况而定) |
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工艺气体 |
质量流量控制仪(3-4路),手动或自动加气系统 |
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冷却系统 |
水循环冷却系统。另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统(客户提供) |
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控制方式 |
手动或PLC+触摸屏操作 |
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报警及保护 |
水压报警,气压报警,过流保护,执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
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设备占地面积 |
W3m×L3.5m |
W3.5m×L5m |
W3.5m×L5m |
W4.5m×L5.5m |
W4.5m×L11m |
W5m×L12m |
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其他技术参数 |
水压≥0.2MPa,水温≤25℃,气压0.5-0.8MPa |
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备注 |
具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm,高度500-7000mm。 |
产品特点
1.适用行业
(1)钟表行业。例如:表带、表壳、表盘等;
(2)玻璃陶瓷行业(玻璃餐具、陶瓷工艺品);
(3)五金行业(卫生洁具、门把手、拉手、门锁等);
(4)建筑行业(不锈钢板、楼梯扶手、立柱等);
(5)精密模具业(冲棒标准件模具、成型模具等);
(6)工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头);
(7)汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)以及钢笔、眼镜等等的。
2.过程温度控制可调
3.程序控制镀膜工艺,确保控制精度和可靠性和可重复性
4.符合安全技术和要求
5.结构合理,周期短,效率高,操作简便,能耗低,稳定性能好。
6.可加工的材料包括:金,银,铬,钛,钛铝,锆,镍,不锈钢及高纯墨靶,硅,三氧化硅,氧化铝,氮化物,硼化物等非金属陶瓷靶
7.涂层颜色:金,银,蓝,绿,紫,粉红,黑色等